乾隆5年(1740)，漳州人程志成向彰化縣府衙稟請開墾獲得墾照，從鹿港率領其部屬至鹿谷鄉清水溪之大坵園（今清水村）驅逐番民，經10餘年的墾拓，於番仔寮西邊築外城、大坵園南邊建內城來防番，墾民悉被高山原住民殺害，墾地歸於荒蕪。

乾隆15年(1750)柯清墾初鄉板仔寮，林伯朋墾凍頂，林灶墾小半天、林敦原墾羌仔寮，莊忠信、葉寧靜入內樹皮，張天球墾坪仔頂、沈劉二姓墾小半天，乾隆16年(1751)張禎祥續而入墾；乾隆22年(1757)，泉州籍許萬青取得墾照，與葉寧靜、莊忠信等人進入鹿谷鄉之粗坑（初鄉村）、新寮（鹿谷村）、坪仔頂（今秀峰村）、羌仔寮（今彰雅村）、車輄寮（今廣興村）、小半天（今竹林、竹豐村）、內樹皮（今和雅村）等地拓墾，此時原住民已退往溪頭、杉林溪等高山地區。

乾隆51年(1786)發生林爽文事件，福康安駐紮竹山江西林（照鏡山），獲鹿谷大坪頂墾民之助，清國攻擊駐守小半天山的林爽文殘部，為此大坪頂有大順嶺稱，乾隆末年有林文俊、林昭、林聯德、林文澤，嘉慶時有黃澤、曾長隆；道光時莊懷玉、李南山（墾內湖）入墾大坪頂。據「賢德可嘉」碑文記載：「傅氏夫君許睿『承先世業，有坪頂七處草地』。」

1830年《彰化縣志》鹿谷被寫為「獐仔寮」，1890年《雲林縣采訪冊》寫為漳雅庄，1899年臺灣總督府在大坪頂設羌仔寮警察官派出所、1904年稱大坪頂為沙連堡羌仔寮區。1912年羌仔寮區役場（公所）從新寮遷移到羌仔寮，1980年羌仔寮成為鹿谷鄉的中心，取代車輄寮在經濟、交通上的地位。